！Q: 為什么要用氧化釔？Yttrium oxide powders for thermal spraying

A: 隨著半導體顯示器工業(yè)的純熟與拓新，國內(nèi)的蝕刻/刻蝕（etching）工程也在擴大。

蝕刻工程中，與等離子接觸的鋁合金、石英、陶瓷等零部件會因為被轟擊沖蝕而產(chǎn)生顆粒污染。這些顆粒污染會對關(guān)鍵零部件的質(zhì)量以及產(chǎn)量造成重大影響。因為從設(shè)備表面釋放的顆粒會在晶片上產(chǎn)生缺陷，這種缺陷會導致晶片報廢。

為了保證刻蝕的強度，往往會選擇如CF4、SF6、O2、Cl2、HBr 等腐蝕氣體及等離子體。這些氣體會對零件表面產(chǎn)生強腐蝕作用。高密度等離子體沖蝕條件下，提高作業(yè)倉內(nèi)關(guān)鍵零部件的耐腐蝕性是一個關(guān)鍵點。

傳統(tǒng)防護方法是采用鋁陽極氧化涂層，但缺點是涂層的抗沖蝕性能不高。

而氧化釔是目前應(yīng)用最廣的耐等離子沖蝕材料。

在芯片刻蝕機腔體內(nèi)壁表面噴涂一層0.15mm厚的氧化釔涂層，可有效避免腔體基材對硅片刻蝕的污染，同時刻蝕機的大修壽命可由15天延長到6個月。同時由于氧化釔具有良好的高溫穩(wěn)定性能以及惡劣環(huán)境下的耐熱性能等，可用作高溫隔熱涂層材料，如用于硬質(zhì)合金工業(yè)中石墨層的保護等。

為半導體腔室內(nèi)部件噴涂

為半導體腔室內(nèi)部件噴涂

Q: 氧化釔和噴涂用氧化釔的區(qū)別？

Yttrium oxide VS Yttrium oxide powders for thermal spraying

釔作為稀土中的其中一種，用途極為廣泛?？晒┲谱鳠晒獠牧?、鐵氧體、單晶材料、光學玻璃、人造寶石、陶瓷和制備金屬釔等。但氧化釔粉末是不能直接用作熱噴涂粉末的。

為了保證涂層的抗沖蝕性能，則需要對氧化釔進行加工，也就是我們常說的造粒。

通過一系列工藝（噴霧燒結(jié)法），混合成漿、加熱塑性、定型篩選的工藝讓原本的氧化釔小顆粒（多為1um）聚合在一起，形成大的球形顆粒。

噴霧燒結(jié)法流程圖

Q: 選氧化釔熱噴涂粉主要看什么？

粉末外觀形貌、粒度、雜質(zhì)比重等。

很多廠家會標榜自己粉末純度高，達到5N，但是選取粉末時不可只看純度就判定粉末的質(zhì)量。

Q: 選粉時必須要看的兩個材料?

1：產(chǎn)品檢測報告 2. SEM電鏡圖

首先看產(chǎn)品檢測報告的理由是先弄清粉末雜質(zhì)比重。

不熟悉看產(chǎn)品檢測報告的朋友，可能只去看最上面標注的TREO