1、首先將單質(zhì)碲與干燥的氯氣反應(yīng)得到四氯化碲，將四氯化碲溶于有機(jī)溶劑中，第一次固液分離，所得液相蒸發(fā)重結(jié)晶得到高純四氯化碲，將高純四氯化碲放入超純水中，通入氨氣，控制溶液pH值為6.5～7.5，使四氯化碲水解。

2、其次第二次固液分離，干燥，即得高純二氧化碲。通過單質(zhì)碲與干燥的氯氣反應(yīng)得到四氯化碲，并利用了碲與氯氣的反應(yīng)產(chǎn)物四氯化碲能溶于甲醇和無水乙醇，而碲中雜質(zhì)與氯氣的反應(yīng)產(chǎn)物不溶于甲醇和無水乙醇的特性，從而將碲與其雜質(zhì)分離。

3、最后將四氯化碲重結(jié)晶后進(jìn)一步提高其純度，再將四氯化碲放入超純水中水解，所得二氧化碲純度可達(dá)5N以上，也可出去二氧化碲的雜質(zhì)。